2025/08/01
紐格爾:中空減速機(jī)在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用,精密傳動(dòng),賦能芯片制造
在半導(dǎo)體制造這一高精度、高潔凈度的工業(yè)領(lǐng)域,每一個(gè)零部件的性能都直接影響著整機(jī)設(shè)備的穩(wěn)定性與工藝精度。中空減速機(jī),作為精密傳動(dòng)系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件,憑借其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與卓越的傳動(dòng)性能,正廣泛應(yīng)用于晶圓傳送、機(jī)械臂控制、刻蝕與沉積設(shè)備等各類半導(dǎo)體制造裝備中,成為推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高精度、更高效能發(fā)展的核心技術(shù)之一。
查看更多